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钛泵

钛泵的介绍
钛泵,就是在设备制造选材时,利用钛及钛合金所具有的耐腐蚀、比重小、强度高、高低温综合机械性能好的特点,在过流部件、叶轮以及填料综合密封等节点使用钛或钛合金制造。该泵具有优良的耐腐蚀性能,能耐大多数有机酸、无机酸、有机化合物以及碱、盐溶液的腐蚀,适于输送含有固体颗粒、易结晶介质,特别是用于长周期运行,提高了经济性。克服填料和机械密封的不足,具有结构简单、密封可靠的优点,也从根本上解决了填料密封的轴套、填料易磨损问题。目前广泛应用于制碱、制盐、冶金矿山和石油化工等领域。

钛泵的结构
钛泵可分为二极型和三极型,三极型可提高对氩(Ar)的抽速。二极型钛泵的结构如图所示,阳极A由许多个厚0.1~0.3mm,直径为12~40mm的不锈钢薄壁圆筒构成,在阳极的两端加有1~3mm厚的钛阴极K。阳极筒的轴线与阴极面垂直,二者之间加3~7KV的电压,阳极筒的轴向加1000~3000高斯的均匀磁场。

钛泵的电源
钛泵的电源是高内阻电源,其空载输出电压在3~7KV间,但负载电流大时,输出电压降至400V左右。一般溅射离子泵使用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额定电压与磁场强度下的放电电流Iion(mA)与压强P(Torr)有一定的曲线关系。所以通过离子泵电源可反映出压强的大小。
泵电源的面板上显示有:输出直流高压和钛泵放电电流等。

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